文章简介：洁净室测试方法
B．1 风量或风速的检测
B．2 静压差的检测
B.2.1 静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测定。
B.2.2 采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。
B.2.3 有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。
洞口的平均风速大于等于0.2m/s时，可用热球风速仪检测。
B．3 空气过滤器泄漏测试
B.3.1 高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器。
D类高效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。
B.3.2 采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于或等于0.5μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×105pc/m3；或对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×107pc/m3；若检测D类高效过滤器，对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×109pc/m3。
B.3.3 高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面20～30mm处，以5～20mm/s的速度，对过滤器的表面，边框和封头胶处进行移动扫描检查。
B.3.4 泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于出厂合格透过率的2倍；D类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的3倍。
B.3.5 在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行不定点检验。
B.4 室内空气洁净度等级的检测
B.4.1 空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态（空态、静态、动态）下进行。
B.4.2 检测仪器的选用：应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。
B.4.3 采样点的规定：
1 最低限度的采样点数NL，见表B.4.3；
表B.4.3 最低限度的采样点数NL表
|
测点数NL |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
|
洁净区面
积A（m2） |
2.1～
6.0 |
6.1～
12.0 |
12.1～
20.0 |
20.1～
30.0 |
30.1～
42.0 |
42.1～
56.0 |
56.1～
72.0 |
72.1～
90.0 |
90.1～
110.0 |
|
注：1 在水平单向流时，面积A为与气流方向呈现垂直的流动空气截面的面积。
2 最低限度的采样点数NL=A0.5计算（四舍五入取整数）。 |
2 采样点应均匀分布于整面积内，并位于工作区的高度（距地坪0.8m的水平面），或设计单位、业主特指的位置。
B.4.4 采样量的确定：
1 每次采样的最少采样量见表B.4.4
B.4.4 每次采样的最少采样量Vs（L）表
|
洁净度
等级 |
粒径（μm） |
|
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
1.0 |
5.0 |
|
1 |
2000 |
8400 |
— |
— |
— |
— |
|
2 |
200 |
840 |
1960 |
5680 |
— |
— |
|
3 |
20 |
84 |
196 |
568 |
2400 |
— |
|
4 |
2 |
8 |
20 |
57 |
240 |
— |
|
5 |
2 |
2 |
2 |
6 |
24 |
680 |
|
6 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
68 |
|
7 |
— |
— |
— |
2 |
2 |
7 |
|
8 |
— |
— |
— |
2 |
2 |
2 |
|
9 |
— |
— |
— |
2 |
2 |
2 |
2 每个采样点最少采样时间为1min，采样量至少为2L；
3 每个洁净室（区）最少采样次数为3次。当洁净区仅有个采样点时，则在该点至少采样3次；
4 对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境，采样量很大，可采用ISO14644—1附录F规定的顺序采样法。
B.4.5 检测采样的规定：
1 采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内设计气流速度；
2 对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁净室，采样管口宜向上；
3 采样管必须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定，如果无规定时，不宜大于1.5m；
4 室内的测定人员必须穿洁净工作服，且不宜超过3名，并应远离或位于采样点的下风侧静止不动或微动。
B.4.6 记录数据评价。空气洁净度测试中，当全室（区）测点为2～9点时，必须计算每个采样点的平均粒子浓度Ci值、全部采样点的平均粒子深度N及其标准差，导出95%置信上限值；采样点超过9点时，可采用算术平均值N作为置信上限值。
1 每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。
表B.4.6-1 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值
|
洁净度等级 |
大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（Pc/m3） |
|
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1.0μm |
5.0μm |
|
1 |
10 |
2 |
— |
— |
— |
— |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
— |
— |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
— |
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
— |
|
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7 |
— |
— |
— |
352000 |
83200 |
2930 |
|
8 |
— |
— |
— |
3520000 |
832000 |
29300 |
|
9 |
— |
— |
— |
35200000 |
8320000 |
293000 |
|
注：1 本表仅表示了整数值的洁净度等级（N）悬浮粒子最大浓度的限值。
2 对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径D（μm）的最大浓度限值（Cn），应按下列公式计算求取。
3 洁净度等级的粒径范围为0.5～5.0μm，用于定级的粒径数不应大于3个，且其粒径
的顺序级差不应小于1.5倍。 |
2 全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值，应小于或等于洁净度等级规定的限值。即：
式中 N──室内各测点平均含尘浓度，N=∑Ci／n；
n──测点数；
s──室内各测点平均含尘浓度N的标准差：
t──置信度上限为95%时，单侧t分布的系数，见表B.4.6-2。
表B.4.6-2 t系数
|
点数 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7～9 |
|
t |
6.3 |
2.9 |
2.4 |
2.1 |
2.0 |
1.9 |
B.4.7 每次测试应做记录，并提交性能合格或不合格的测试报告。测试报告应包括以下内容：
1 测试机构的名称、地址；
2 测试日期和测试者签名；
3 执行标准编号及标准实施日期；
4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图；
5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径（或沉降菌、浮游
菌）、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压型；
6 测量用的仪器的编号和标定证书；测试方式细则及测试中的特殊情况；
7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度（或沉降菌、
浮游菌的菌落数）；
8 对异常测试值进行说明及数据处理。
B．5 室内浮游菌和沉降菌的检测
B.5.1 微生物检测方法有空气悬浮微生物法和沉降微生物法两种，采样后的基片（或平皿）经过恒温箱内37℃、48h的培养生成菌落后进行计数。使用的采样器皿和培养液必须进行消毒灭菌处理。采样点可均匀布置或取代表性地域布置。
B.5.2 悬浮微生物法应采用离心式、狭缝式和针孔式等碰击式采样器，采样时间应根据空气中微生物浓度来决定，采样点数可与测定空气洁净度测点数相同。各种采样器应按仪器说明书规定的方法使用。沉降微生物法，应采用直径为90mm培养皿，在采样点上沉降30min后进行采样，培养皿最少采样数应符合表B.5.2的规定。
表B.5.2 最少培养皿数
|
空气洁净度级别 |
培养皿数 |
|
＜5 |
44 |
|
5 |
14 |
|
6 |
5 |
|
≥7 |
2 |
B.5.3 制约厂洁净室（包括生物洁净室）室内浮游菌和沉降菌测试，也可采用按协议确定的采样方案。
B.5.4 用培养皿测定沉降菌，用砬撞式采样器或过滤采样器测定浮游菌，还应遵守以下规定：
1 采样装置采样前的准备及采样后的处理，均应在设有高效空气过滤器排风的负压实验室进行操作，该实验室的温度应为22±2℃；相对湿度应为50%±10%；
2 采样仪器应消毒灭菌；
3 采样器选择应审核其精度和效率，并有合格证书；
4 采样装置的排气不应污染洁净室；
5 沉降皿个数及采样点、培养基及培养温度、培养时间应按有关规范的规定执行。
6 浮游菌采样器的采样率宜大于100L/min；
7 碰撞培养基的空气速度应小于20m/s。
B．6 室内空气温度和相对温度的检测
B.6.1 根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。每次测定间隔不应大于30min。
表B.6.1 温、湿度测点数
|
波动范围 |
室面积≤50m2 |
每增加20～50m2 |
|
△t=0.5±～±0.2℃ |
5个 |
增加3～5 |
|
△RH=±5%～±10% |
|
△t≤±0.5℃ |
点间距不应大于2m，点数不应少于5个 |
|
△RH≤±5% |
B.6.2 室内测点布置：
1 送回风口处；
2 恒温工作区具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）；
3 没有恒温要求的洁净室中心；
4 测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m，离地面0.8的同一高度上；也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。
B.6.3 测点数应符合表B.6.1的规定。
表B.6.1 温、湿度测点数
|
波动范围 |
室面积≤50m2 |
每增加20～50m2 |
|
△t=0.5±～±0.2℃ |
5个 |
增加3～5 |
|
△RH=±5%～±10% |
|
△t≤±0.5℃ |
点间距不应大于2m，点数不应少于5个 |
|
△RH≤±5% |
B.6.4 有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如90%以上测点偏差值在室温波动范围内，为符合设计要求。反之，为不合格。
区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准，各测点平均温度与超偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线，90%以上测点所达到的偏差为区域温差，应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。
B．7 单向流洁净室截面平均速度，速度不均匀的检测
B．8 室内噪声的检测
B.8.1 测噪声仪器应采用带倍频程分析的声级计。
B.8.2 测点布置应按洁净室面积均分，每50平方米设一点。测点位于其中心，距地面1.1～1.5m高度处或按工艺要求设定。
责任编辑：JJSKT
