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半导体超净厂房纯气系统及实例
文章出处：网络作者：佚名发布时间：2005-01-15 浏览次数：等待统计信息……
	选择字体大小: 小中大文章简介：半导体超净厂房纯气系统及实例简述半导体芯片制造中所用气体的纯度标准，并通过实例，对制备方法及流程、输送系统设计及特点、气体站设计以及参数的检测等进行了阐述。作者：林晓莹出自：《洁净与空调技术》(2002年第2期) 责任编辑：JJSKT
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