文章简介：洁净室术语
关键词：洁净室术语
2.0.1洁净室（区） clean room(zone)
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数和温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2悬浮粒子 airborne particles
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子。
1 粒径miacropartical size
由给定的粒子尺寸测定仪回应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
2 超微粒子 ultrafine particle
当量直径<0.1μm的粒子。
3 宏粒子 micro particle
当量直径>0.5μm的粒子。
4 粒径分布particle size distribution
粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。
5 含尘浓度particle concentration
单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.3洁净度cleanliness
以单位体积空气中某粒子的数量来区分的洁净程度。
2.0.4占用状态occupancy states
1 空态as-built
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
2 静态at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，按业主及供应商商定的状态运行，但无生产人员。
3 动态operational
设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
2.0.5气流流型air pattern
室内空气的流动形态和分布。
2.0.6单向流unidirectional airflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
2.0.7非单向流 non-unidirectional airflow
不符合单向流定义的气流。
2.0.8混合流mixed airflow
单向流和非单向流组合的气流。
2.0.9洁净工作区clean working area
指洁净室内离地面高度0.8-1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。
2.0.10空气吹淋室 airshower
利用洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。
2.0.11气闸室 airlock
设置在洁净室出入口，为阻隔室外或相邻房间的污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
2.0.12传递窗 passbox
在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。
2.0.14高效空气过滤器HEPA（high efficiency particulate air filter）
在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器。
2.0.15风机过滤器机组（FFU）Fan Filter Unit
由高效空气过滤器（HEPA）或超高效空气过滤器（ULPA）与风机组合在一起，构成自身可提供动力的末端空气净化装置。
2.0.16过滤器安装后检漏 installed filter leakage test
检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等没有缺陷和泄漏。
2.0.17漏风量 air system leakage ratio
风管系统中，在某一静压下通过风管，附件及其接口，单位时间内泄漏或渗入的空气体积量。
2.0.18漏光检测 air leak cheek with lighting
采用强光源对风管的咬口、接缝、法兰及其连接处进行透光检查，确定孔洞、缝隙等渗漏部位及数量的方法。
2.0.19自净时间 cleanliness recovery characteristic
洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。
2.0.20纯水 purify water
杂质含量很少的水，其电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均要求很少的水。
2.0.21常用气体 Bulk gas
指电子产品生产过程中广泛使用的氢气、氧气、氮气、氩气、氦气等气体。
2.0.22特种气体special gas
指电子产品生产过程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性。
2.0.23化学品chemical
指电子产品生产过程中使用的酸、碱、有机溶剂、有机物质和氧化物等。
2.0.24配管piping
洁净厂房中，用以输送、分配工艺用水、纯水、各类气体、化学品等的管路系统的管子、附件、管件、法兰、螺栓连接件、垫片、阀门和其他组成件的组装总成。
2.0.25热弯 hot bending
温度高于金属临界点AC1时的弯管作业。
2.0.26冷弯cold bending
温度低于金属临界点AC1时的弯管作业。
2.0.27射线照相检数 radiographic examination
对指定的一批配管的全部环向对接焊缝所作的全圆周射线检验和对纵焊缝所作的全长度射线检验。
2.0.28抽样射线照相检验 random radiographic examination
在一批指定的配管中，对规定的百分比的环向对接焊缝所作的全圆周的射线检验。
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