本报讯(通讯员 童益进)我国发展大规模集成电路科研与生产、微电子产业及生物洁净技术关键的测试仪器——0.1微米1CFM激光尘埃粒子计数器,近日通过市科技攻关项目成果鉴定。该测试仪器我国以往不能生产,全部依赖进口。
江苏苏净集团有限公司是我国净化行业中的领头羊企业,其科技人员经过两年时间技术攻关,解决了大信噪比激光光学传感器、大采样量泵源及气路系统及电路处理系统的技术难题,研制成功我国首台自主创新的0.1微米大流量激光粒子计数器,经用户使用性能良好、测量精度高、专家组一致认为达到国际同类产品水平,可以替代进口。
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