文章简介：王尧：中国洁净技术将迎来发展新浪潮
王尧：中国电子学会洁净技术分会主任委员，中国电子工程设计院前院长，西安交通大学兼职教授。
中国电子学会成立于1962年，20年后成立了洁净技术分会，挂靠中国电子工程设计院。1989年在中国电子学会的委托下，经国家科学技术委员会批准，洁净技术分会代表中国成为国际污染控制学会联盟(ICCCS)成员。
洁净技术是为电子工业提供满足生产需要的受控环境；与生产不可分割、与产品质量息息相关的服务行业。在总会的领导和关怀下，在中国电子工程设计院长期的支持下，在吕理复(原电子工业部基建司司长)、严德隆(原中国电子工程设计院院长)的精心耕耘下，洁净技术分会随着中国电子工业的发展而成长。
彩电发展带来洁净技术大普及
从上世纪80年代初，先后经过15年的努力，中国建成了“咸阳彩虹”、“北京松下”、“上海永新”、“南京华飞”、深圳“赛格日立”、东莞“福地”、“佛山彩管”、“长沙LG-曙光”、“上海索尼”、“天津三星”、“深圳三星”、福州“华映光电”等共12个彩色显像管CPT和彩色显示器CDT生产基地。投资超过500亿人民币，厂房建筑面积120万m2，其中洁净厂房面积20万m2。
尽管彩管厂洁净厂房洁净度标准不高，大多数在万级(按美联邦标准FS 209D，控制粒径≥0.5μm，每立方英尺空气中粒子数为10000颗)。但是，在中国成为世界彩电大国(年产电视机逾6000万台)的同时，完成了中国洁净室技术的大普及，实现了“以市场换技术”。这是彩电产业对中国洁净技术行业带来的第一次浪潮。
“IC浪潮”助推产业大发展
“八五”、“九五”期间我国微电子产业获得长足发展，继“华晶”、“华越”、“华虹”之后，涌现了长江三角洲微电子产业的快速发展，初步形成IC设计、芯片制造、封装测试和设备材料的产业链。
同样经历15年(“八五”、“九五”、“十五”规划)我国已建成和已批准在建的12英寸芯片生产线有7条：中芯国际(北京③/上海①/武汉①)、海力士-意法、英特尔(Intel大连)；8英寸芯片生产线有12条：中芯国际(成都)、华虹-NEC②、宏力半导体、海力士-意法、绿山集成电路、泷芯通宇、重庆茂德、杭州仕兰②、华越、华越微电子。投资逾千亿元人民币，洁净厂房面积近20万m2。
预计2010年中国将成为全球第二大半导体市场，届时洁净室的市场份额将超过50亿人民币。
IC产业的蓬勃发展对中国洁净技术的提高形成了第二次“浪潮”：大面积洁净室的洁净度达到10万级，局部达到1级(粒子控制粒径≥0.5μm，美联邦FS 209D标准)。
与IC产业竟相媲美的中国平板显示器产业TFT-LCD同样飞速发展。5代生产线就有北京京东方、上海上广电NEC、苏州腾龙光电、深圳深超光电，除了洁净度标准较高外，每条生产线洁净室面积均达30000m2。
发展道路上的瓶颈
美国现有洁净室逾2万个、洁净室面积250万m2、从业人员30万人，其中2006年新建30万m2左右洁净室，市场份额为90亿美元。中国每年“洁净室”市场份额大约为160亿人民币，涵盖电子信息产业、医药工业、医疗卫生等。其规模与美国相当，技术上尚有差距；但其发展势头引起世界的关注。以洁净技术行业中的过滤器产业为例，世界著名厂商纷纷云集中国：有美国AAF、美国飞特亚、美国飞达仕、瑞典康斐尔、日本剑桥、日本阿尔泰克、日本无机、荷兰阿波罗……，使得过滤器市场竞争十分激烈，中国洁净技术的持续发展遇到了“瓶颈”。
首先，技术标准与国际不接轨、不协调。中国有关洁净技术规范/标准是纳入建设系统归口，且不成体系，所谓“条条管理、块块应用”，各行各业不太容易协调。国外洁净技术的有关标准是纳入环境评价体系——主要是ISO 14644系列标准和ISO 14698系列标准。国际标准覆盖了洁净室从设计、建造、调试、测验、运行、评价、验证的全过程，自成科学体系。
中国加入WTO以后，其技术法规、标准与合格评定程序应符合WTO/TBT协议。最重要的一点，WTO/TBT协议将技术标准定义为非强制性条文；如果以强制性标准作为技术法规或者技术规范中分强制性条文和非强制性条文，这与WTO/TBT协议的有关原则相违背。
经过洁净技术分会国际、国内的推动，国家标准化管理委员会批准中国标准化协会作为ISO/TC 209(国际标准化组织“洁净室与相关受控环境”技术委员会)国内技术对口单位[标委办国际(2006)13号文]，开通了标准的国际接口。
创建中国“洁净室与相关受控环境”标准体系，建立中国洁净技术产业整个生命周期中的技术支撑，是中国洁净技术行业当务之急。
其次，技术人才短缺。中国专业技术人员总数约为4100万人，洁净技术与相关行业从业人员大约为20万～25万左右，其中专业技术人员队伍需要4万～5万人(占从业人员的20%，占全国专业技术人员总数的1/1000)。洁净技术行业需要综合性、技能型、国际化的技术人才；且市场需求量大，特别是洁净室的施工和运行方面的技术人才缺口大。 2003年中国科协批准
中国电子学会开展电子信息技术资格认证试点工作[科协学发(2003)120号文]，拉开我国现行技术职称工作改革的序幕。中国电子学会批示洁净技术分会开展洁净室工程师资格认证工作[(2004)学会总字007号文]。并鼓励和积极支持洁净技术分会开展中国洁净室工程师的国际互认工作。
经过3年不懈的努力，2007年3月16日在法国巴黎ICCB(国际洁净室认证委员会)大会上(14个组织代表17个国家)批准了苏格兰和中国“洁净室工程师培训体系”，中国洁净室工程师国际互认工作基本落实。
然而，中国洁净行业人才培训工作刚刚起步，3年来全国参加工程师培训人员只有1000人左右，其中2004年有194名，2005年有156名培训人员通过洁净室工程师资格认证。“杯水车薪”，满足不了洁净技术市场的需求；此外，尚有体制上的难题需要多方协调。中国洁净技术人才的培育将是一个长期而艰巨的工作。
第三，行业面临知识更新和科技创新。一方面，目前新建电子工厂洁净度要求越来越高，洁净厂房面积越建越大(TFT-LCD八代线，洁净厂房面积近9万m2)。无论IC芯片还是TFT-LCD生产线，但其生产工艺(制程技术)多数境外引进，设计院充当设计转化——“依葫芦画瓢”的角色，工程公司处于分包商的地位，一时尚难变更。对境外生产工艺/制程技术的消化吸收，分包商的地位的晋级需要学习和创新。了解分子污染AMC、研究微环境(标准机械接口SMIF隔离技术和前开口传递盒FOUP生产系统)、实现制程设备国产化尚需学习和创新。
另一方面，洁净室是耗能大户。以单位冷耗为例，芯片厂洁净室单位面积的冷耗是五星级酒店同等面积冷耗的15倍。同样规模的IC芯片厂生产线，由于制程工序和系统的不同能耗相差高达50%以上。能耗直接影响产品成本，节能始终是我国重要的国策。
此外，2003年春天“非典”肆虐中华大地，2004年几乎席卷全球的 禽流感，均将生物污染控制提高到新的高度。生物安全与洁净技术切勿混为一谈，但生物安全技术和生物污染控制需要借助洁净技术的兼容和包容性。譬如，隔离屏障技术、空气过滤技术、负压系统等技术。
生物安全实验室不是洁净室，但现实状况多数是从事洁净技术的工程公司承担生物安全实验室(包括动物实验室)的建造，但对生物安全技术的了解十分肤浅。
历史赋予机遇，中国洁净技术发展的高潮已经到来，任重而道远。
责任编辑：JJSKT
