文章简介:NIST启用纳米洁净测量实验室
美国国家标准与技术研究所(NIST)新近建成了一所耗资2亿3千5百万美元、占地49843平方米的纳米高科技测量实验室(AML),此实验室由5个独立侧室组成,对空气质量、温度、振动、湿度等环境条件控制极为严格。NIST将这个AML中进行纳米实验和原子水平的测量。AML的5个独立侧室中2个位于地面以下12米处,NIST将在此实验室为美国各行业和科研群体提供关于21世纪新科技,如纳米、半导体、先进材料、量子计算以及先进制造技术等方面的精密测量数据和行业标准。
AML本身的设计也可谓一项科研项目。它具有以下特点:洁净等级100的洁净室,8520平方米的纳米制造设施;室内空气比NIST常规实验室洁净1000倍;大多数实验室温度可在0.01-0.25℃范围内调整;振动隔离:27种振动模式可在0.5-3微米/秒调整;电力过滤系统保证电力供应不受干扰;绿色建筑:自然光照、节能和回收利用。
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