文章简介：洁净厂房设计规范GBJ73-84
第七章 工业气体管道 第一节 一般规定
第7．1．1条 工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道宜明敷；如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措施。引入洁净室的支管宜明敷。 第7．1．2条 高纯气体管道设计，应附合下列要求
一、根据计算确定管径；
二、管道系统应尽量短；
三、不宜设预留口；
四、不应出现“盲管”等不易吹除的部位；
五、干管和支管上应设置吹除口；
六、在管道系统上应设置必要的取样口。
第7．1．3条 穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。
第7．1．4条 氢气和氧气管道末端或是高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷保护区内。
第7．1．5条 气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。
第7．1．6条 气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高纯气体管道应装设高气体过滤器。
第二节 管道材料、阀门和附件
第7．2．1条 根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选用：
一、气体纯度大于或等于99．999％时，应采用不锈钢管；
二、气体纯度大于或等于99．99％时，直采用不锈钢管、铜管、无缝钢管；
三、气体纯度小于99．99％时，可采用无缝钢管；
四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳胶管。
第7．2．2条 高纯气体管道应采用密封性能好的阀门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。
第7．2．3条 高纯气体管道与附件连接的密封垫,应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。
第三节 管道连接和清洗
第7．3．1条 管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。
第7．3．2条 管道与设备、阀门的连接处，宜采用法兰、螺纹或其它密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。
第7．3．3条 高纯气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、脱脂等预处理。
第四节 安全技术
第7．4．1条 工业气体管道设计的安全技术，应符合下列规定：
一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器；
二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置；
三、各种气体管道应设明显标志。
第7．4．2条 洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。
第7．4．3条 各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。
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